【摘要】：三维JD足球反波胆APP下载是一种具有空间结构优势、电化学性能比二维JD足球反波胆APP下载更加优越的微型储能结构。本文提出一种基于光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS工艺加工三维结构硅基JD足球反波胆APP下载阵列的新方法。


采用电化学阴极沉积工艺在JD足球反波胆APP下载表面制备了纳米JD足球反波胆APP下载化钌功能薄膜。借助扫描电子显微镜、循环伏安测试和电化学交流阻抗谱测试等手段对三维JD足球反波胆APP下载的表面形貌和电化学性能进行了表征，系统研究了阴极沉积电流密度、电沉积时间以及硅基微结构表面"微草效应"对三维JD足球反波胆APP下载超电容特性的影响。


所制备三维JD足球反波胆APP下载的比电容达到1.57 F/cm2，与平面电极比电容0.42 F/cm2相比明显提高，而电化学阻抗比二维平面JD足球反波胆APP下载显著降低。相关实验数据表明基于MEMS技术加工的三维结构JD足球反波胆APP下载具有优于平面电极的电化学电容储能特性。