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【摘要】:针对多通道柔性神经JD足球反波胆APP下载的设计及制作,研究了JD足球反波胆APP下载的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为JD足球反波胆APP下载的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经JD足球反波胆APP下载,JD足球反波胆APP下载的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。
无论JD足球反波胆APP下载为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时JD足球反波胆APP下载的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。JD足球反波胆APP下载加工质量较好,电学性能优良,实现了JD足球反波胆APP下载和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。